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Activités

L'activité du CC Daµm consiste à mettre à disposition des équipements nécessaires à l'étude des propriétés de nouveaux matériaux pour :

 

  • La réalisation de couches minces par différentes techniques de dépôt

  • La caractérisation chimique et structurale de ces couches minces et la mise en forme finale des dispositifs par gravure et recuit.


Lors de ces différentes étapes, la contamination des échantillons par l’air ambiant est parfaitement maîtrisée puisqu’ils restent sous ultravide durant tout le processus.


Les avantages du CC Daµm

 

  • Il permet de simplifier les procédés d’élaboration en spécialisant les équipements par type de matériaux (métaux, isolants, semi-conducteurs, etc.) et en donnant accès à différents moyens d’analyses in situ pour élaborer des structures originales et trouver de nouvelles fonctionnalités afin d’ouvrir de nouveaux axes de recherche.

  • Il offre la possibilité de greffer des instruments « invités » pour développer de nouvelles collaborations institutionnelles ou industrielles.



Méthode de travail


Le CC DAµM interconnecte différents équipements ultravide autour d'un tunnel de transfert lui aussi sous ultravide.

A l'intérieur de ce tunnel, 3 chariots pouvant accueillir chacun 12 porte-échantillons, permettent de transporter les échantillons rapidement d'un équipement à un autre sous un vide de quelques 10-10 mbar.