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Equipements

8 systèmes d'élaboration de couches minces spécialisés par type de matériau :

  • MBE

  • Evaporateurs

  • CVD

  • Pulvérisation cathodique

  • Ablation laser

     

8 systèmes d'analyse et de caractérisation :

  • Surface (RHEED, STM, AFM)

  • Chimique (Spectroscopie Auger, XPS, UPS)

  • Propriétés (Effet Kerr, Ellipsométrie)

     

2 systèmes de fonctionnalisation :

  • Gravure ionique

  • Recuit sous champs

 

Les équipements acquis dans le cadre du projet Tube Daum sont cofinancés par l'Union Européenne. L'Europe s'engage en région Grand Est avec le Fonds européen de développement régional.