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MEB Quanta 650 FEG de FEI

<font size="1"><i>MEB FEI Quanta 650 FEG</i></font>

Principe

Dans un microscope électronique à balayage, un faisceau d’électrons vient balayer la surface et interagir avec l’échantillon. Des interactions se produisent entre les électrons incidents et les atomes de la cible, engendrant des émissions secondaires. En utilisant des détecteurs appropriés, il est alors possible de faire des images de la surface (électrons secondaires pour des images topographiques ou électrons rétrodiffusés pour des images de composition) ou des analyses de la composition élémentaire de l’échantillon (en analysant les rayons X).

Caractéristiques

- Canon à effet de champ type Schottky.

- Haute tension réglable de 200 V à 30 kV.

- Grandissement jusqu’à x 200 000.

- Microscope pouvant  fonctionner en vide partiel (eau ou gaz) : jusqu’à 400 Pa en mode LV et 4000 Pa en mode ESEM.

- Détecteurs classiques SE et BSE en mode de vide normal + détecteurs spéciaux SE et BSE pour les modes LV et ESEM.

- Détecteur STEM qui permet de réaliser des images en transmission sur des lames minces.

- Détecteur haute température.

Equipements supplémentaires 

- Système EDS type SDD permettant de réaliser, à l’échelle du µm3, des analyses à très fort taux de comptage (donc avantage très important pour les cartographies).

- Système EBSD avec caméra rapide pour l’analyse cristallographique de l’échantillon (permet de réaliser des clichés de diffraction à l’aide des électrons rétrodiffusés et d’obtenir des cartes d’orientation).

- Platine de traction.

- Platine de chauffage jusqu’à 1500°C.

 

Exemples

Exemple 1 : image d’un échantillon de kapton, avec le détecteur FLD, à 5kV et 70 Pa.



Exemple 2 : image champ sombre en mode STEM de billes de polystyrène.



                  Exemple 3 : cartographie X d’une surface de PtCuO2, du platine, du cuivre et de l’oxygène.