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MEB Philips/FEI XL30 S-FEG

Le microscope électronique à balayage  XL30 S-FEG permet de caractériser la surface d’une large gamme de matériaux.

Caractéristiques

- Canon à effet de champ type Schottky.

- Haute tension réglable de 200 V à 30 kV.

- Grandissement jusqu’à x 200 000.

- Détecteur d’électrons secondaires (SE) pour imager la topographie de surface

- Détecteur d’électrons rétrodiffusés (BSE) pour imager les différentes phases de la surface.

- Détecteur SE in-lens (TLD) pour l’imagerie haute résolution.

- Spectromètre EDS type Si(Li) permettant de réaliser des analyses qualitatives (du B à U), quantitatives (de Na à U) ou des cartographies, à l’échelle du µm3.

 

Exemples de résultats 

 

 

Image HR de NaCl (sel)
Image HR d’un AgCuO
Image SE d’un filament de tungstène
Image BSE d’une stellite
Spectre EDS d’un quasicristal