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ARM 200F cold FEG (TEM/STEM) analytique corrigé en sonde

Les développements croissants des nanotechnologies et les besoins de plus en plus importants de caractérisations structurales et chimiques nécessitent aujourd’hui des équipements  très performants permettant d’explorer la matière à son échelle le plus intime.

Pour  répondre aux besoins des différentes équipes de recherche en matière de caractérisation de leurs matériaux, l’IJL s’est doté d’un nouveau MET « l’ARM-200F FEG à cathode froide corrigé en sonde »  récemment installé (juin 2012).

l’ARM-200F FEG est un Microscope Electronique à Transmission (MET) de troisième génération d’appareil corrigé. La colonne a été redimensionnée pour une meilleure stabilité mécanique. Cette source froide est beaucoup plus souple d’utilisation qu’un monochromateur et permet de descendre en dessous de 0.3 eV avec une brillance réglable.

Cet équipement peut être utilisé en mode STEM (Scanning Transmission Electron Microscope) qui permet de balayer la surface de l’échantillon avec une sonde très fine de l’ordre du dixième du nanomètre.

Par ailleurs L’ARM-200F est un appareil très souple et très bien conçu. Il permet de changer de technique et de modes très rapidement. Le Changement de haute tension s’effectue rapidement en quelques minutes pour atteindre de suite des grandissements de 10 millions.

 

Spécifications techniques  et performances de l’ARM 200F

Résolution :

  • En mode STEM  avec une résolution de 0.08 nm à 200 kV
  • En mode TEM : Point par point : 0.19 nm, système périodique : 0.10 nm.

 

Grandissements : de 50 à 2 000 000.

Inclinaison d’objet : +/- 25°

Tensions d’accélération : 80, 100, 120, 160 et 200 kV.

 

Equipements

STEM : détecteurs : ABF, ADF et HAADF.

Système de microanalyse X (SDD) : Jeol DRY SD 30 GV permettant d’effectuer des cartographies X et profils linéaires. La résolution est de 129 eV à 20 000 coups sur la raie Mn-K

GIF Quantum ER modèle 965 combine les meilleures qualités d’un filtre en énergie avec celles d’un spectromètre EELS. Le diaphragme d’entrée de 9 mm procure un très grand champ de visualisation.

Caméras :

     

  • ORIUS 200D Gatan modèle 833 (caméra port 35 mm grand angle) 2k x 2k : ce modèle destiné à l’acquisition d’images et de clichés de diffraction avec une dynamique, une linéarité, une sensibilité et une résolution meilleure que les films photographiques.
  • ULTRA SCAN (USC) 1000 Gatan modèle 894 (résolution 2k x 2k) : cette caméra occupe le port axial (on-axis) de la partie inférieure de la chambre TEM destinée à délivrer une résolution et une vitesse de lecture exceptionnelle.

 

Nettoyeur Plasma Gatan SOLARIUS modèle 950 : Ce système permet un excellent nettoyage  rapide des échantillons par génération de plasma.

Porte–échantillons : simple tilt standard, simple tilt Be et un double tilt Be.