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Equipements

Matériels d’élaboration

  • 1 réacteur de pulvérisation RF
  • 1 réacteur de pulvérisation DC à 2 cathodes magnétron
  • 1 réacteur de pulvérisation DC pulsé à 2 cathodes magnétron travaillant à haute température
  • 1 réacteur de pulvérisation HIPIMS à 3 cathodes magnétron
  • 1 réacteur d’évaporation par arc cathodique
  • 1 réacteur de CVD assisté par un plasma micro-ondes
  • 1 réacteur mixte équipé de 3 sources magnétron et de 3 sources d’évaporation

 

Matériels de caractérisation

  • 1 spectrophotomètre Cary 5000 UV-visible-proche infrarouge
  • 1 spectrophotomètre à transformée de Fourier (50 à 4000 cm-1)
  • 2 résistivimètres 4 pointes
  • 1 effet Hall
  • 1 spectromètre Raman multi-longueurs d’ondes
  • 1 RHEED
  • 1 ellipsometre visible in situ UHV
  • 1 ellipsomètre UV-visible-PIR ex situ avec cellule Linkam