Annuaire  |  Flux RSS  |  Espace presse  |  Intranet  |  Webmail  |  Videos  |    Photos   Elaboration et fonctionnalisation de films minces de diamant  Development and functionalization of diamond thin films 

Elaboration et fonctionnalisation de films minces de diamant

L’élaboration de films minces de diamant se réalise par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-onde. En fonction des conditions d’élaboration et de la nature des substrats utilisés, il est possible de maîtriser leur microstructure (films microcristallins, polycristallins, texturés, épitaxiés) et dans une certaine mesure de limiter les défauts intrinsèques à ce type de revêtements.

 

 

 

<font size="1"><i>film épitaxié <001> sur Si(001)</i></font>
<font size="1"><i>film texturé <111> sur Si(001)</i></font>
<font size="1"><i>film texturé <001> sur Si(001)</font></i>


Deux types de fonctionnalisation sont actuellement envisagés sur de tels films minces de diamant : la réalisation de membranes nano-poreuses impossibles à obtenir via des techniques RIE pour des applications de filtres moléculaires biologiques ou comme support inerte d’électrolytes polymères dans les piles à combustibles par exemple, et la réalisation de composites diamant/nanotubes pour des applications électrochimiques.

<font size="1"><i>Film diamant CVD nanoporeux</i></font>
<font size="1"><i>Nanofils de carbone sur diamant CVD</font></i>


La nano-gravure est obtenue par interaction entre les faces cristallines du diamant et des nanogouttes de métaux de transition dont les conditions de formation permettent d’ajuster la vitesse de gravure et la taille des nano-tranchées ainsi formées. Dans des conditions légèrement différentes, les nanogouttes de métal permettent de synthétiser des nanofils de carbone (Carbon NanoTube CNT, Diamond NanoWires DNW)  semi-enterrés ou en surface du film de diamant dont les caractéristiques physiques, chimiques et structurales sont en cours d’étude.