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Catégorie : Evénements scientifiques

Jeudi 22 janvier : Séminaire de François Horréard (CAMECA) dans le cadre de la priorité "Interfaces Avancées pour l’Energie"


L'équipe de l'Institut Jean Lamour en charge de la priorité scientifique "Interfaces Avancées pour l’Energie" invite François Horréard (CAMECA, Gennevilliers) pour un séminaire sur :

 

"La Sonde Atomique Tomographique pour l’analyse de composition élémentaire en 3D à l’échelle nanométrique en science des matériaux et nanotechnologie"

 

Date et lieu :

Jeudi 22 janvier 2015 à 14h
Institut Jean Lamour
Site de Saurupt, Nancy
Amphi Eiffel


Présentation :

La sonde atomique tomographique (SAT ou APT en anglais) est basée sur l’analyse par spectrométrie de masse à temps de vol (TOF) d’un échantillon solide préparé sous forme de pointe (rayon ~50nm). Les atomes sont ionisés à 100% dans un champ électrique intense localisé à l’apex et projetés vers un détecteur mesurant leurs positions X et Y, leur masse/charge et l’ordre d’évaporation. La résolution spatiale du volume reconstruit est de l’ordre de 0.1-0.3nm. Les volumes analysés sont de 100-200 nm de diamètre par quelques 100s de nm de hauteur, acquis en quelques heures.

La SAT a été confinée pendant plusieurs années essentiellement à la métallurgie nucléaire pour détecter et quantifier des précipités de quelques atomes ou des ségrégations.

La récente combinaison de l’utilisation de laser UV permettant d’évaporer les atomes d’échantillons semi-conducteurs ou isolants, et de la préparation FIB-SEM pour couper, extraire et former des pointes à partir d’échantillons massifs a révolutionné la technique.

Nous illustrerons cette technique par des exemples variés d’analyses de composition de précipités, ségrégations, interfaces et couches minces, structures nanométriques 3D, mesure de dopants, dans des domaines variés de la métallurgie, de la spintronique, microélecronique, des céramiques, biomatériaux et récemment de minéraux en géochimie.

La société CAMECA vient de lancer une nouvelle génération de sonde atomique, le LEAP 5000, offrant une détection globale de 80% des atomes des échantillons analysés. La technique est extrêmement complémentaire du SIMS et de l’EPMA qui manquent de résolution spatiale pour l’échelle sub-nanométrique, et du TEM à l’analyse quantitative délicate en 3D.