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Catégorie : Evénements scientifiques

Lundi 4 mai 2015 : Séminaire de Cédric Thomas : "La gravure par faisceau de neutres : une alternative à la gravure plasma pour la fabrication de nanostructures"

L'équipe de l'Institut Jean Lamour en charge de la priorité scientifique "Plasmas chauds & froids – Fusion Thermonucléaire", accueille Cédric Thomas, associate professor à l'université de Tohoku (Sendai, Japon) pour un séminaire intitulé :

 

"La gravure par faisceau de neutres : une alternative à la gravure plasma pour la fabrication de nanostructures "

 

Date et lieu :

Lundi 4 mai 2015 à 14h00 
Institut Jean Lamour
Site de Saurupt
Salle du conseil

 

Résumé :

Les procédés plasmas, et en particulier la gravure plasma sont des technologies clés pour la fabrication de dispositifs optoélectroniques. De nos jours ces dispositifs tendent vers des structures de taille nanométrique (boites quantiques par exemple), et les défauts créés lors de la gravure compromettent grandement leurs caractéristiques intrinsèques.

Après un rappel des limitations actuelles de la gravure plasma pour la fabrication de nanostructures, je présenterai la solution que nous avons développée et qui associe la formation d’un masque de gravure nanométrique et d’un procédé de gravure par faisceau de neutres. Le masque est formé par auto-assemblage de protéines (appelées ferritines) sur la surface. La création du faisceau de neutres se fait grâce à un plasma halogène RF à couplage inductif séparé de l’échantillon par une électrode en carbone percée par un réseau de trous à fort rapport d’aspect. Je présenterai les résultats que nous avons obtenus concernant la formation de piliers nanométriques à partir de puits quantiques multiples (MQW) GaAs/AlGaAs [1,2]. Ces piliers intègrent des boites quantiques de GaAs. Des LEDs contenant ces boites quantiques ont été réalisées et nous avons pu mesurer leur émission, ce qui est une première pour des LEDs à base de boites quantiques formées par une approche top-down [3]

[1] Tamura et al. Nanotechnology 24 (2013) 285301

[2] Thomas et al. J. Phys. D : Appl. Phys. 47 (2014) 215203

[3] Higo et al. Scientific Reports 5 (2015) 9371