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Catégorie : Evénements scientifiques

Mardi 19 mai 2015 : Séminaire de Nicolas Martin : "Films minces architecturés par technique GLAD"

L'équipe de l'Institut Jean Lamour en charge de la priorité scientifique "Interfaces Avancées pour l’Energie", accueille Nicolas Martin (Institut FEMTO-ST) pour un séminaire intitulé :

 

"Films minces architecturés par technique GLAD"

 

Date et lieu :

Mardi 19 mai 2015 à 14h00
Institut Jean Lamour
Site de Saurupt
Amphithéâtre Eiffel

 

Résumé :

Au cours de ces dernières années, des efforts importants ont été consacrés aux techniques de
structuration de surfaces et de films minces. Qu’elles soient basées sur des processus
d’origine physique ou chimique, elles sont fortement dépendantes des conditions opératoires
et de leur mise en oeuvre. C’est particulièrement le cas des dépôts physiques en phase vapeur,
et notamment de la pulvérisation cathodique. Selon les paramètres expérimentaux et le
matériau déposé, des structures fibreuses, colonnaires ou encore à grains équiaxes peuvent
être obtenues. De plus, suivant le milieu réactif ou inerte mis en jeu, la nature même de la
surface produite peut être modifiée. La motivation de cet exposé est donc de présenter une
voie originale de structuration de surfaces : la technique GLAD [1] (GLancing Angle
Deposition). Elle consiste à déposer un film mince sous incidence oblique sur un substrat fixe
ou animé d’un mouvement de rotation. Par un phénomène d’ombrage se produisant à l’échelle
atomique, un contrôle précis de la structure des films est obtenu à des dimensions de l’ordre
de quelques dizaines de nanomètres. Des architectures relativement complexes peuvent alors
être produites (colonnes inclinées, zigzags, spirales …) avec une variété de matériaux incluant
les métaux, les diélectriques, les semi-conducteurs … L’impact direct de cette méthode de
structuration des films minces conduit à élargir le spectre de leurs propriétés physiques par
rapport à leurs homologues déposés par méthode conventionnelle. Une analyse nonexhaustive
de certaines propriétés optiques, électriques ou encore mécaniques des films
obtenus est finalement proposée et les applications potentielles liées aux domaines de
l’énergie, des capteurs, du filtrage sont commentées.

Mots clés:
Structuration, films minces, GLancing Angle Deposition

[1] K. Robbie et al., J. Vac. Sci. Technol. A15(3) (1997) 1460.


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