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Production scientifique

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Article

Titre: Analysis of the transport of ionized titanium atoms in a highly ionized sputter deposition process.
Auteur(s): L De Poucques, J-C Imbert, C Boisse-Laporte, J Bretagne, M Ganciu, L Teulé-Gay, P Vasina et M Touzeau
Journal: Plasma processes and polymers
Année: 2007
Volume: 4
Pages: S424
Projet: Département CP2S : ESPRITS

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