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Production scientifique

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Article

Titre: Microwave plasma process for SiCN:H thin films synthesis with composition varying from SiC:H to SiN:H in H2/N2/Ar/hexamethyldisilazane gas mixture.
Auteur(s): M. Belmahi, S. Bulou, A. Thouvenin, L. de Poucques, R. Hugon, L. Le Brizoual, P. Miska, D. Genève, J.-L. Vasseur et J. Bougdira
Journal: Plasma Processes and Polymers
Année: 2014
Volume: 11
Pages: 551-558
DOI: 10.1002/ppap.201300166
Projet: Département CP2S : ESPRITS

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