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Production scientifique

Publication single view

Article

Titre: Columnar growth of AlN films prepared by r.f. magnetron sputtering : role of the 103 planes
Auteur(s): V. Brien, P. Miska, B. Bolle et P. Pigeat
Journal: Journal of crystal growth
Année: 2007
Volume: 307
Issue: 1
Pages: 245-252
Projet: Département CP2S : EFCM

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