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Production scientifique

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Article

Titre: Synthesis of carbon nitride thin films by N2/CH4 microwave plasma assisted by chemical vapor deposition: characterisation of discharge and the obtained films
Auteur(s): P. Kouakou, V. Brien, M. B. Assouar, V. Hody, M. Belmahi, H. N. Migeon et J. Bougdira
Journal: Plasma Processes and Polymers
Année: 2007
Volume: 4
Pages: 210-214
Projet: Département CP2S : EFCM

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