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Production scientifique

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Article

Titre: Use of silane for the deposition of hard and oxidation resistant Ti-Si-N coatings by a hybrid cathodic arc and chemical vapour process
Auteur(s): D. Pilloud, J.F. Pierson, P. Steyer, A. Mege, B. Stauder et P. Jacquot
Journal: Materials Letters
Année: 2007
Volume: 61
Pages: 2506-2508
Projet: Département CP2S : EFCM

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