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Production scientifique

Publication single view

Article

Titre: Reactive gas pulsing process: a method to extend the composition range in sputtered iron oxynitride films
Auteur(s): C. Petitjean, M. Grafouté, C. Rousselot et J.F. Pierson
Journal: Surface and Coatings Technology
Année: 2008
Volume: 202
Pages: 4825-4829
Projet: Département CP2S : EFCM

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