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Production scientifique

Publication single view

Article

Titre: Substrate biasing effects on the microstructure of magnetron-sputterd AlN films investigated by in situ reflectance interferometry
Auteur(s): P. Pigeat et T. Easwarakhanthan
Journal: Thin Solid Films
Année: 2008
Volume: 516
Issue: 12
Pages: 3957-3964
Projet: Département CP2S : EFCM

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