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Production scientifique

Publication single view

Article

Titre: Structural and mechanical properties of a-C:H and Si doped a-C:H thin films grown by LF-PECVD
Auteur(s): C. Chouquet, G. Gerbaud, M. Bardet, S. BARRAT, A. Billard, F. Sanchette et C. Ducros
Journal: Surface and Coatings Technology
Année: 2009
Volume: 204
Issue: 9-10
Pages: 1339
Projet: Département CP2S : EFCM

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