linkedintwitter
Annuaire  |  Flux RSS  |  Espace presse  |  Wiki IJL  |  Webmail  |  Videos  |    Photos   Production scientifique  Publications 

Production scientifique

Publication single view

Article

Titre: Spectroellipsometric investigation of optical, morphological and structural properties of reactively sputtered polycrystalline AlN films.
Auteur(s): T. Easwarakhanthan, S. Hussain et P. Pigeat
Journal: Journal of Vacuum Science and Technology A
Année: 2010
Volume: 28
Issue: 3
Pages: 495-501
Projet: Département CP2S : EFCM

Retour vers la liste