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Publications: Articles

Article

Titre: Aluminium nitride films deposition by reactive triode sputtering for surface acoustic wave device applications
Auteurs: Mortet, V., Vasin, A., Jouan, P.-Y., Elmazria, O. and Djouadi, M.-A.
Journal: Surface and Coatings Technology
Annee: 2003
Volume: 176
olabel_issue: 1
Pages: 88-92
Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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