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Publications: Articles

Article

Titre: Electrical properties of piezoelectric aluminium nitride films deposited by reactive dc magnetron sputtering
Auteurs: Elmazria, O., Assouar, M.B., Renard, P. and Alnot, P.
Journal: Physica Status Solidi (A) Applied Research
Annee: 2003
Volume: 196
olabel_issue: 2
Pages: 416-421
Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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