Titre: | Study of aluminium nitride/freestanding diamond surface acoustic waves filters |
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Auteurs: | Mortet, V., Elmazria, O., Nesládek, M., D'Haen, J., Vanhoyland, G., Elhakiki, M., Tajani, A., Bustarret, E., Gheeraert, E., D'Olieslaeger, M. and Alnot, P. |
Journal: | Diamond and Related Materials |
Annee: | 2003 |
Volume: | 12 |
olabel_issue: | 3-7 |
Pages: | 723-727 |
Equipe: | Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies |