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| Titre: | Analysis of mass transport in an atmospheric pressure remote plasma-enhanced chemical vapor deposition process |
|---|---|
| Auteurs: | Cardoso, R. P., Belmonte, T., Henrion, G., Gries, T. and Tixhon, E. |
| Journal: | Journal of Applied Physics |
| Annee: | 2010 |
| Volume: | 107 |
| olabel_issue: | 2 |
| Equipe: | Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS |