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Publications: Articles

Article

Titre: Columnar growth of AlN films prepared by r.f. magnetron sputtering : role of the 103 planes
Auteurs: Brien, V., Miska, P., Bolle, B. and Pigeat, P.
Journal: Journal of crystal growth
Annee: 2007
Volume: 307
olabel_issue: 1
Pages: 245-252
Equipe: Département CP2S : Elaboration et Fonctionnalité de Couches Minces

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