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Article
| Titre: | Effect of microwave remote plasma and radiofrequency plasma on the photoluminescence properties of (0001) epitaxial ZnO films |
|---|---|
| Auteurs: | Margueron, S., Ropers, S., Genty, F., Bartasyte, A. and Belmonte, T. |
| Journal: | Materials Chemistry and Physics |
| Annee: | 2014 |
| Volume: | 147 |
| Pages: | 623-628 |
| Equipe: | Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS |