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Publications: Articles

Article

Titre: Synthesis and microstructural characterisation of reactive RF magnetron sputtering AlN films for surface acoustic wave filters
Auteurs: Assouar, M.B., El Hakiki, M., Elmazria, O., Alnot, P. and Tiusan, C.
Journal: Diamond and Related Materials
Annee: 2004
Volume: 13
olabel_issue: 4-8
Pages: 1111-1115
Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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