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Publications: Articles

Article

Titre: A nitriding process of very thin molybdenum films in an expanding microwave plasma at low temperature
Auteurs: S. Touimi, I. Jauberteau, S. Weber, A. Bessaudou, A. Passelergue, R. Mayet, J.L. Jauberteau and Aubreton, J.
Journal: Materials Science and Engineering
Annee: 2010
Volume: 12
Equipe: Centre de Compétences : Microscopies et Microsondes

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