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Publications: Articles

Article

Titre: Characterization of a N-2/CH4 Microwave Plasma With a Solid Additive Si Source Used for SiCN Deposition
Auteurs: Bulou, S., Le Brizoual, L., Hugon, R., De Poucques, L, Belmahi, M., Migeon, H. N. and Bougdira, J.
Journal: Plasma Processes and Polymers
Annee: 2009
Volume: 6
Pages: S576-S581
Equipe: Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS

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