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Publications: Articles

Article

Titre: Analysis of mass transport in an atmospheric pressure remote plasma-enhanced chemical vapor deposition process
Auteurs: Cardoso, R. P., Belmonte, T., Henrion, G., Gries, T. and Tixhon, E.
Journal: Journal of Applied Physics
Annee: 2010
Volume: 107
olabel_issue: 2
Equipe: Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS

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