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Publications: Articles

Article

Titre: Space resolved velocity and flux distributions of sputtered Ti atoms in a planar circular magnetron discharge.
Auteurs: Vitelaru, C, De Poucques, L, Minea, T M and Popa., G
Journal: Plasma Sources Science & Technol.
Annee: 2011
Volume: 20
Pages: 045020
Equipe: Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS

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