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Article
| Titre: | Space resolved velocity and flux distributions of sputtered Ti atoms in a planar circular magnetron discharge. |
|---|---|
| Auteurs: | Vitelaru, C, De Poucques, L, Minea, T M and Popa., G |
| Journal: | Plasma Sources Science & Technol. |
| Annee: | 2011 |
| Volume: | 20 |
| Pages: | 045020 |
| Equipe: | Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS |