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Diamond and Related Materials,
18(11):1393-1400
2009
Equipe: Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS |
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Semiconductor Science and Technology,
24(3)
2009
Equipe: Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS |