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Publications: Articles

Article

Titre: Enhanced sensitivity of SAW-based Pirani vacuum pressure sensor
Auteurs: Singh, K.J., Elmazria, O., Sarry, F., Nicolay, P., Ghoumid, K., Belgacem, B., Mercier, D. and Bounouar, J.
Journal: IEEE Sensors Journal
Annee: 2011
Volume: 11
olabel_issue: 6
Pages: 1458-1464
Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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