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Publications: Articles

Article

Titre: c-axis inclined AlN film growth in planar system for shear wave devices
Auteurs: Fardeheb-Mammeri, A., Assouar, M.B., Elmazria, O., Gatel, C., Fundenberger, J.-J. and Benyoucef, B.
Journal: Diamond and Related Materials
Annee: 2008
Volume: 17
olabel_issue: 7-10
Pages: 1770-1774
Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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