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Publications: Articles

Article

Titre: Chemical and structural transformations of silicon submitted to microwave plasma
Auteurs: BARRAT, S, GUISE, A, AOUNI, A, DIANI, M. and BAUER-GROSSE, E
Journal: Diamond and Related Materials
Annee: 2008
Volume: 17
Pages: 428-434.
Equipe: Département CP2S : Elaboration et Fonctionnalité de Couches Minces

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