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Publications: Articles

Article

Titre: Synthesis of carbon nitride thin films by N2/CH4 microwave plasma assisted by chemical vapor deposition: characterisation of discharge and the obtained films
Auteurs: Kouakou, P., Brien, V., Assouar, M. B., Hody, V., Belmahi, M., Migeon, H. N. and Bougdira, J.
Journal: Plasma Processes and Polymers
Annee: 2007
Volume: 4
Pages: 210-214
Equipe: Département CP2S : Elaboration et Fonctionnalité de Couches Minces

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