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Arnoult, G., Cardoso, R. P., Belmonte, T. and Henrion, G.
Applied Physics Letters, 93(19):191507
2008

Equipe: Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS

Belmonte, T., Henrion, G., Cardoso, R. P., Noel, C., Arnoult, G. and Kosior, F.
Informacije Midem-Journal of Microelectronics Electronic Components and Materials, 38(4):272-276
2008

Equipe: Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS

Belmonte, T., Cardoso, R. P., Noel, C., Henrion, G. and Kosior, F.
European Physical Journal-Applied Physics, 42(1):41-46
2008

Equipe: Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS

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