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Publications: Articles

Article

Titre: Pressure effect on the velocity and flux distributions of sputtered metal species in magnetron discharge measured by space-resolved tunable diode laser induced fluorescence.
Auteurs: Vitelaru, C, De Poucques, L, Hytkova, T, Minea, T M, Boisse-Laporte, C, Bretagne, J and Popa, G
Journal: Plasma processes and polymers
Annee: 2009
Volume: 6
Pages: S326
Equipe: Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS

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