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Publications: Articles

Article

Titre: Chemical vapour deposition enhanced by atmospheric microwave plasmas: a large scale industrial process or the next manufacturing tool?
Auteurs: Belmonte, T., Gries, T., Cardoso, R.P., Arnoult, G., Kosior, F. and Henrion, G.
Journal: Plasma Sources Science and Technology
Annee: 2011
Volume: 20
Pages: 024004
Equipe: Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS

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