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Kirsch, P., Assouar, M.B., Elmazria, O., Mortet, V. and Alnot, P.
5 GHz surface acoustic wave devices based on aluminum nitride/diamond layered structure realized using electron beam lithography
Applied Physics Letters,
88
(22)
2006
http://www.scopus.com/inw...e3ea9f0ee5d4b3493a865babc
Equipe:
Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies
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