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| Titre: | Characterization of a N-2/CH4 Microwave Plasma With a Solid Additive Si Source Used for SiCN Deposition |
|---|---|
| Auteurs: | Bulou, S., Le Brizoual, L., Hugon, R., De Poucques, L, Belmahi, M., Migeon, H. N. and Bougdira, J. |
| Journal: | Plasma Processes and Polymers |
| Annee: | 2009 |
| Volume: | 6 |
| Pages: | S576-S581 |
| Equipe: | Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS |