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Publications: Articles

Article

Titre: Highly textured growth of AlN films on sapphire by magnetron sputtering for high temperature surface acoustic wave applications
Auteurs: Aubert, T., Assouar, M.B., Legrani, O., Elmazria, O., Tiusan, C. and Robert, S.
Journal: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films
Annee: 2011
Volume: 29
olabel_issue: 2
Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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