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Publications: Articles

Article

Titre: Structural and optical properties of a-SiCN thin film synthesised in a microwave plasma at constant temperature and different flow of CH4 added to HMDSN/N-2/Ar mixture
Auteurs: Bulou, S., Le Brizoual, L., Miska, P., de Poucques, L., Hugon, R., Belmahi, M. and Bougdira, J.
Journal: Surface & Coatings Technology
Annee: 2011
Volume: 205
Pages: S214-S217
Equipe: Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS

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