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Publications: Articles

Article

Titre: The influence of CH4 addition on composition, structure and optical characteristics of SiCN thin films deposited in a CH4/N-2/Ar/hexamethyldisilazane microwave plasma
Auteurs: Bulou, S., Le Brizoual, L., Miska, P., de Poucques, L., Hugon, R., Belmahi, M. and Bougdira, J.
Journal: Thin Solid Films
Annee: 2011
Volume: 520
olabel_issue: 1
Pages: 245-250
Equipe: Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS

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