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| Titre: | Microwave plasma process for SiCN:H thin films synthesis with composition varying from SiC:H to SiN:H in H2/N2/Ar/hexamethyldisilazane gas mixture. |
|---|---|
| Auteurs: | Belmahi, M., Bulou, S., Thouvenin, A., de Poucques, L., Hugon, R., Le Brizoual, L., Miska, P., Genève, D., Vasseur, J.-L. and Bougdira, J. |
| Journal: | Plasma Processes and Polymers |
| Annee: | 2014 |
| Volume: | 11 |
| Pages: | 551-558 |
| Equipe: | Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS |