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Publications: Articles

Article

Titre: Deposition of aluminium nitride film by magnetron sputtering for diamond-based surface acoustic wave applications
Auteurs: Mortet, V., Nesládek, M., D'Haen, J., Vanhoyland, G., Elmazria, O., Assouar, M.B., Alnot, P. and D'Olieslaeger, M.
Journal: Physica Status Solidi (A) Applied Research
Annee: 2002
Volume: 193
olabel_issue: 3
Pages: 482-488
Equipe: Centre de Compétences : MiNaLor micro et nanotechnologies

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