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Publications: Articles

Article

Titre: Spectroellipsometric investigation of optical, morphological and structural properties of reactively sputtered polycrystalline AlN films.
Auteurs: Easwarakhanthan, T., Hussain, S. and Pigeat, P.
Journal: Journal of Vacuum Science and Technology A
Annee: 2010
Volume: 28
olabel_issue: 3
Pages: 495-501
Equipe: Département CP2S : Elaboration et Fonctionnalité de Couches Minces

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