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Publications: Articles

Article

Titre: Experimental study of an RF-IPVD process:contamination by the internal coil.
Auteurs: Imbert, J-C, De Poucques, L, Boisse-Laporte, C, Bretagne, J, Hugon, M-C, Pagnon, D, Pitach, P, Teulé-Gay, L and Touzeau, M
Journal: Thin Solid Films
Annee: 2008
Volume: 516
Pages: 4700
Equipe: Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS

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