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Article
| Titre: | Experimental study of an RF-IPVD process:contamination by the internal coil. |
|---|---|
| Auteurs: | Imbert, J-C, De Poucques, L, Boisse-Laporte, C, Bretagne, J, Hugon, M-C, Pagnon, D, Pitach, P, Teulé-Gay, L and Touzeau, M |
| Journal: | Thin Solid Films |
| Annee: | 2008 |
| Volume: | 516 |
| Pages: | 4700 |
| Equipe: | Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS |