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Publications: Articles

Article

Titre: Analysis of the transport of ionized titanium atoms in a highly ionized sputter deposition process.
Auteurs: De Poucques, L, Imbert, J-C, Boisse-Laporte, C, Bretagne, J, Ganciu, M, Teulé-Gay, L, Vasina, P and Touzeau, M
Journal: Plasma processes and polymers
Annee: 2007
Volume: 4
Pages: S424
Equipe: Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS

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