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Article
| Titre: | Experimental study of preionized high power pulsed magnetron discharge. |
|---|---|
| Auteurs: | Vasina, P, Mesko, M, Imbert, J-C, Ganciu, M, Boisse-Laporte, C, De Poucques, L, Touzeau, M, Pagnon, D and Bretagne, J |
| Journal: | Plasma Sources Science & Technol |
| Annee: | 2007 |
| Volume: | 16 |
| Pages: | 501 |
| Equipe: | Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS |