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Article
| Titre: | Characterization of a neutral atomic hydrogen source developed in the perspective of carbon materials etching study |
|---|---|
| Auteurs: | Bieber, T., de Poucques, L., Vasseur, J. L., Hugon, R., Belmahi, M. and Bougdira, J. |
| Journal: | Surface & Coatings Technology |
| Annee: | 2011 |
| Volume: | 205 |
| Pages: | S384-S387 |
| Equipe: | Département CP2S : Expériences et Simulations des Plasmas Réactifs - Interaction plasma-surface et Traitement des Surfaces ESPRITS |